Termék azonosítás
|
Tétel |
Specifikáció |
|
Termék neve |
G4 foszforsav |
|
Termékkategória |
Félvezető elektronikus nedves vegyszer |
|
Kémiai név |
Foszforsav |
|
Kémiai képlet |
H3PO4 |
|
CAS-szám |
7664-38-2 |
|
Molekulatömeg |
98.00 |
|
ENSZ-szám |
1805 |
|
Fokozat |
SEMI G4 Ultra-Nagy tisztaságú elektronikus minőségű |
Termék áttekintése
A G4 foszforsav egy ultra-nagy-tisztaságú gyenge szervetlen sav, amelyet kifejezetten fejlett félvezető lapkák gyártásához és mikroelektronikai gyártáshoz fejlesztettek ki. A több-fokozatú tisztítással, ultra-finom szűréssel és 1000-es osztályú tiszta-térben zárt töltési eljárással előállított termék rendkívül alacsony fémionokat, anionos szennyeződéseket és mikro{8}}részecskéket tartalmaz, és teljes mértékben megfelel a szigorú SEMI G4 nemzetközi félvezető szabványoknak.
Ez a vegyszer kiváló szelektív maratási teljesítményt nyújt szilícium-nitrid, alumínium vékonyrétegek és speciális dielektromos anyagok esetében, stabil maratási sebességgel és kiváló folyamatszabályozással. Minimálisan károsítja a szilícium szubsztrátumokat és az oxidrétegeket, hatékonyan eltávolítja a felületi maradék szennyeződéseket, és megfelel a fejlett ostyafolyamatok ultramagas-tisztasági követelményeinek. A szigorú szennyeződés-ellenőrzés kiküszöböli a mikro-hibakockázatokat, nagy hozamot és stabil működést biztosítva a nagy-precíziós félvezetőgyártáshoz.
Megjelenés:Színtelen, átlátszó, szirupos viszkózus folyadék, szagtalan
Műszaki adatok (SEMI G4 szabvány)
|
Tesztelem |
Specifikáció |
|
H3PO₄ vizsgálat |
84,0 ~ 86.0 tömeg% |
|
Megjelenés |
Színtelen és átlátszó, viszkózus folyadék |
|
Szín (APHA) |
10-nél kisebb vagy egyenlő |
|
Sűrűség @ 20 fok |
1,68-1,71 g/cm³ |
|
Párolgási maradék |
30 ppb vagy kisebb |
|
Egyes fémnyomok (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr) |
Egyenként legfeljebb 10 ppb |
|
Szulfát (SO₄²⁻) |
30 ppb vagy kisebb |
|
Klorid (Cl⁻) |
30 ppb vagy kisebb |
|
Nitrát (NO3⁻) |
30 ppb vagy kisebb |
|
Redukáló anyagok (mint H3PO₃) |
50 ppb vagy kisebb |
|
Részecskék Nagyobb vagy egyenlő, mint 0,2 μm |
100 db/ml vagy annál kisebb |
Jegyzet:Minden tesztadat köteg{0}}specifikus COA-n (elemzési tanúsítvány) alapul.
Alkalmazások (félvezető nedves eljárás)
Szilícium-nitrid és alumínium film maratása:Mag-nedves marató vegyszer félvezető elülső{0}}folyamatokhoz, Si₃N₄ vékonyrétegek, alumínium fémkapuk és alumínium betétrétegek precíziós maratásához. Kiváló maratási szelektivitással rendelkezik, hatékonyan védi a szilícium-oxidot és a szilícium szubsztrátumot, miközben egyenletes és stabil maratási morfológiát biztosít.
Az ostya felületének precíziós tisztítása:Eltávolítja a mikro{0}}részecskéket, a maradék szervetlen szennyeződéseket és a felületi nyomokban lévő szennyeződéseket, amelyek a maratási és lerakási folyamatok során keletkeznek. Az alacsony-ionos karakterisztikájának köszönhetően elkerülhető a másodlagos szennyezés, így az ostyák felülete ultra-nagyon tiszta a fejlett litográfiás és leválasztási folyamatokhoz.
Összetett nedves oldat készítmény:Nagy-tisztaságú vegyes maratási és tisztító oldatok készítésére használják félvezető speciális folyamatokhoz, amelyek megfelelnek az integrált áramkörök nagy-precíziós mikro-nanogyártási követelményeinek.
MEMS és fejlett félvezető csomagolás:MEMS-eszközök, mikro-érzékelők és fejlett chipcsomagoló szerkezetek mikro-maratására és felületkezelésére alkalmazzák, biztosítva a pontos mintameghatározást és az eszköz stabil teljesítményét.
Csomagolás és töltés szabvány
Csomagolás típusa:Tiszta-minőségű korrózióálló- HDPE lezárt dob, dedikált nagy-tisztaságú foszforsav csomagolás
Közös specifikáció:25 kg / 30 kg kisdob, 1000 kg korrózióálló -IBC hordó
Kitöltési környezet:1000. osztályú tisztatér, teljesen zárt, ultra-tiszta töltőrendszer, szigorúan ellenőrzi a részecskék és szennyeződések bejutását a másodlagos szennyeződés elkerülése érdekében
Tömítési szabvány:Nagy-tömítettség, szivárgásbiztos-tömített szerkezet, szennyeződés- és -elhasználódás-gátló, hosszú távú-tisztasági stabilitást biztosítva
Tárolás és eltarthatóság
● Tárolja hűvös, száraz, szellőztetett vegyszerraktárban, szorosan lezárva, távol a közvetlen napfénytől, magas hőmérséklettől és hőforrásoktól.
● Különítse el lúgos anyagoktól, erős oxidálószerektől, fémporoktól és korrozív inkompatibilis anyagoktól, hogy megakadályozza a kémiai reakciókat és a tisztaság lebomlását.
● Kerülje a hosszú-nyitott elhelyezést és a nedvesség felszívódását, hogy megelőzze a szennyeződések feldúsulását és a teljesítmény változását.
● Eltarthatóság:12 hónapig normál zárt tárolási körülmények között
Kezelés és biztonsági óvintézkedések
● A foszforsav mérsékelten korrozív és higroszkópos. A kezelőknek szabványos komplett PPE-t kell viselniük: sav-álló kesztyűt, vegyi védőszemüveget, korrózióálló-kötényt és védőruházatot.
● Minden hígítási, mintavételi és kezelési műveletet professzionális füstelszívóban kell végezni, hogy elkerüljük a pára belélegzését, valamint a bőrrel és a nyálkahártyákkal való közvetlen érintkezést.
● Hígítás közben lassan adjon hozzá foszforsavat ionmentesített vízhez; soha ne adjon vizet a tömény foszforsavhoz, hogy elkerülje a kifröccsenést és a vegyi sérüléseket.
● Folyadék fröccsenése, bőrrel való érintkezése vagy szivárgása esetén haladéktalanul végezzen sürgősségi tisztítást és ártalmatlanítást a szabványos működési eljárásoknak megfelelően.
● Tekintse meg a hivatalos SDS-dokumentumot a veszélyekre vonatkozó átfogó információkért, a szállítási előírásokért és a részletes elsősegély-nyújtási intézkedésekért.
Minőségbiztosítás
A G4 foszforsav minden tételét a SEMI G4 nemzetközi félvezetőipari szabványoknak megfelelően állítják elő, tisztítják és ellenőrzik. Minden szállítmányhoz köteg-specifikus hivatalos COA tartozik. A teljes gyártási és töltési folyamat szigorú tiszta-térszennyeződés-ellenőrzést és magas-tisztasági kezelést alkalmaz, biztosítva az ultra-alacsony szennyeződéseket, a tételek stabil konzisztenciáját és a magas folyamathoz való alkalmazkodóképességet, teljes mértékben megfelelve a fejlett félvezetőgyártás szigorú nedves eljárási követelményeinek.
Népszerű tags: elektronikai vegyszerek g4 foszforsav (félvezető nedves vegyszer), Kína elektronikai vegyszerek g4 foszforsav (félvezető nedves vegyszer) gyártók, beszállítók, gyár

