Electronic Chemicals G4 foszforsav (félvezető nedves vegyszer)

Electronic Chemicals G4 foszforsav (félvezető nedves vegyszer)

A dokumentum átdolgozása: 01
Kiadás dátuma: 2026-09-02
Alkalmazandó szabvány: SEMI G4 fokozat (Semiconductor Ultra-High Purity Wet Chemical)

Termék azonosítás

 

Tétel

Specifikáció

Termék neve

G4 foszforsav

Termékkategória

Félvezető elektronikus nedves vegyszer

Kémiai név

Foszforsav

Kémiai képlet

H3PO4

CAS-szám

7664-38-2

Molekulatömeg

98.00

ENSZ-szám

1805

Fokozat

SEMI G4 Ultra-Nagy tisztaságú elektronikus minőségű

 

Termék áttekintése

 

A G4 foszforsav egy ultra-nagy-tisztaságú gyenge szervetlen sav, amelyet kifejezetten fejlett félvezető lapkák gyártásához és mikroelektronikai gyártáshoz fejlesztettek ki. A több-fokozatú tisztítással, ultra-finom szűréssel és 1000-es osztályú tiszta-térben zárt töltési eljárással előállított termék rendkívül alacsony fémionokat, anionos szennyeződéseket és mikro{8}}részecskéket tartalmaz, és teljes mértékben megfelel a szigorú SEMI G4 nemzetközi félvezető szabványoknak.

 

Ez a vegyszer kiváló szelektív maratási teljesítményt nyújt szilícium-nitrid, alumínium vékonyrétegek és speciális dielektromos anyagok esetében, stabil maratási sebességgel és kiváló folyamatszabályozással. Minimálisan károsítja a szilícium szubsztrátumokat és az oxidrétegeket, hatékonyan eltávolítja a felületi maradék szennyeződéseket, és megfelel a fejlett ostyafolyamatok ultramagas-tisztasági követelményeinek. A szigorú szennyeződés-ellenőrzés kiküszöböli a mikro-hibakockázatokat, nagy hozamot és stabil működést biztosítva a nagy-precíziós félvezetőgyártáshoz.

 

Megjelenés:Színtelen, átlátszó, szirupos viszkózus folyadék, szagtalan

 

Műszaki adatok (SEMI G4 szabvány)

 

Tesztelem

Specifikáció

H3PO₄ vizsgálat

84,0 ~ 86.0 tömeg%

Megjelenés

Színtelen és átlátszó, viszkózus folyadék

Szín (APHA)

10-nél kisebb vagy egyenlő

Sűrűség @ 20 fok

1,68-1,71 g/cm³

Párolgási maradék

30 ppb vagy kisebb

Egyes fémnyomok (Na, K, Ca, Mg, Fe, Cu, Al, Zn, Ni, Cr)

Egyenként legfeljebb 10 ppb

Szulfát (SO₄²⁻)

30 ppb vagy kisebb

Klorid (Cl⁻)

30 ppb vagy kisebb

Nitrát (NO3⁻)

30 ppb vagy kisebb

Redukáló anyagok (mint H3PO₃)

50 ppb vagy kisebb

Részecskék Nagyobb vagy egyenlő, mint 0,2 μm

100 db/ml vagy annál kisebb

 

Jegyzet:Minden tesztadat köteg{0}}specifikus COA-n (elemzési tanúsítvány) alapul.

 

Alkalmazások (félvezető nedves eljárás)

 

Szilícium-nitrid és alumínium film maratása:Mag-nedves marató vegyszer félvezető elülső{0}}folyamatokhoz, Si₃N₄ vékonyrétegek, alumínium fémkapuk és alumínium betétrétegek precíziós maratásához. Kiváló maratási szelektivitással rendelkezik, hatékonyan védi a szilícium-oxidot és a szilícium szubsztrátumot, miközben egyenletes és stabil maratási morfológiát biztosít.

Az ostya felületének precíziós tisztítása:Eltávolítja a mikro{0}}részecskéket, a maradék szervetlen szennyeződéseket és a felületi nyomokban lévő szennyeződéseket, amelyek a maratási és lerakási folyamatok során keletkeznek. Az alacsony-ionos karakterisztikájának köszönhetően elkerülhető a másodlagos szennyezés, így az ostyák felülete ultra-nagyon tiszta a fejlett litográfiás és leválasztási folyamatokhoz.

Összetett nedves oldat készítmény:Nagy-tisztaságú vegyes maratási és tisztító oldatok készítésére használják félvezető speciális folyamatokhoz, amelyek megfelelnek az integrált áramkörök nagy-precíziós mikro-nanogyártási követelményeinek.

MEMS és fejlett félvezető csomagolás:MEMS-eszközök, mikro-érzékelők és fejlett chipcsomagoló szerkezetek mikro-maratására és felületkezelésére alkalmazzák, biztosítva a pontos mintameghatározást és az eszköz stabil teljesítményét.

 

Csomagolás és töltés szabvány

 

Csomagolás típusa:Tiszta-minőségű korrózióálló- HDPE lezárt dob, dedikált nagy-tisztaságú foszforsav csomagolás

Közös specifikáció:25 kg / 30 kg kisdob, 1000 kg korrózióálló -IBC hordó

Kitöltési környezet:1000. osztályú tisztatér, teljesen zárt, ultra-tiszta töltőrendszer, szigorúan ellenőrzi a részecskék és szennyeződések bejutását a másodlagos szennyeződés elkerülése érdekében

Tömítési szabvány:Nagy-tömítettség, szivárgásbiztos-tömített szerkezet, szennyeződés- és -elhasználódás-gátló, hosszú távú-tisztasági stabilitást biztosítva

 

Tárolás és eltarthatóság

 

● Tárolja hűvös, száraz, szellőztetett vegyszerraktárban, szorosan lezárva, távol a közvetlen napfénytől, magas hőmérséklettől és hőforrásoktól.

● Különítse el lúgos anyagoktól, erős oxidálószerektől, fémporoktól és korrozív inkompatibilis anyagoktól, hogy megakadályozza a kémiai reakciókat és a tisztaság lebomlását.

● Kerülje a hosszú-nyitott elhelyezést és a nedvesség felszívódását, hogy megelőzze a szennyeződések feldúsulását és a teljesítmény változását.

● Eltarthatóság:12 hónapig normál zárt tárolási körülmények között

 

Kezelés és biztonsági óvintézkedések

 

● A foszforsav mérsékelten korrozív és higroszkópos. A kezelőknek szabványos komplett PPE-t kell viselniük: sav-álló kesztyűt, vegyi védőszemüveget, korrózióálló-kötényt és védőruházatot.

● Minden hígítási, mintavételi és kezelési műveletet professzionális füstelszívóban kell végezni, hogy elkerüljük a pára belélegzését, valamint a bőrrel és a nyálkahártyákkal való közvetlen érintkezést.

● Hígítás közben lassan adjon hozzá foszforsavat ionmentesített vízhez; soha ne adjon vizet a tömény foszforsavhoz, hogy elkerülje a kifröccsenést és a vegyi sérüléseket.

● Folyadék fröccsenése, bőrrel való érintkezése vagy szivárgása esetén haladéktalanul végezzen sürgősségi tisztítást és ártalmatlanítást a szabványos működési eljárásoknak megfelelően.

● Tekintse meg a hivatalos SDS-dokumentumot a veszélyekre vonatkozó átfogó információkért, a szállítási előírásokért és a részletes elsősegély-nyújtási intézkedésekért.

 

Minőségbiztosítás

 

A G4 foszforsav minden tételét a SEMI G4 nemzetközi félvezetőipari szabványoknak megfelelően állítják elő, tisztítják és ellenőrzik. Minden szállítmányhoz köteg-specifikus hivatalos COA tartozik. A teljes gyártási és töltési folyamat szigorú tiszta-térszennyeződés-ellenőrzést és magas-tisztasági kezelést alkalmaz, biztosítva az ultra-alacsony szennyeződéseket, a tételek stabil konzisztenciáját és a magas folyamathoz való alkalmazkodóképességet, teljes mértékben megfelelve a fejlett félvezetőgyártás szigorú nedves eljárási követelményeinek.

 

Népszerű tags: elektronikai vegyszerek g4 foszforsav (félvezető nedves vegyszer), Kína elektronikai vegyszerek g4 foszforsav (félvezető nedves vegyszer) gyártók, beszállítók, gyár

A szálláslekérdezés elküldése